[发明专利]衬底输送装置

说明书

本申请是申请日为2003年4月16日、申请号为03808707.3、发明名称为“衬底输送装置”的发明专利申请的分案。 

技术领域

本发明涉及使玻璃衬底在输送路径上浮起而进行输送的衬底输送装置，该玻璃衬底是用于例如大型液晶显示（下面，省略为LCD）和等离子显示面板（下面，省略为PDP）等平板显示器（下面，省略为FPD）等。 

背景技术

近年来，为了对应屏幕的大型化和减少成本的要求，FPD领域中FPD制造工艺中所处理的玻璃衬底的大小有日益大型化的倾向。作为FPD制造工艺中输送大型玻璃衬底的方法，已知有采用使用了滚筒的滚动输送机构。 

例如在专利公开公报2000－193604号和专利公开公报2000－9661号中记载着输送大型玻璃衬底的技术。前者通过使一对支撑滚筒机构仅接触被检查衬底（相当于玻璃衬底）下面的左右两侧来进行支撑，且通过与玻璃衬底的左右端对接的一对限制滚筒机构来限制左右方向的位置。另外，由于玻璃衬底的中间部分因重力而向下方弯曲，所以为了限制该玻璃衬底的弯曲，而向玻璃衬底的下面喷射压力空气。 

后者通过滚动输送部将玻璃衬底输送到缺陷检查部，定位玻璃衬底，并通过夹持机构夹持玻璃衬底的端部来进行缺陷检查。缺陷检查时，为了不接触地支撑玻璃衬底，从空气浮起台上设置的排气口中排出高压空气后，将玻璃衬底的高度保持为一定。 

但是，前者的玻璃衬底的输送由于使用了一对支撑滚筒机构和一对限制滚筒机构，故若高速输送玻璃衬底，则在与滚筒接触的玻璃衬底的滚动面上产生了滚筒的摩擦痕迹。 

后者为了通过滚动输送部来输送玻璃衬底，与前者相同，若高速输送 玻璃衬底，则在与滚筒接触的玻璃衬底的滚动面上产生了滚筒的摩擦痕迹。 

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种在非接触状态下进行输送，可进行不刮伤玻璃衬底的高速输送的衬底输送装置。 

本发明的衬底输送装置，输送平板显示器制造工艺中所制造的衬底，其特征在于，包括：衬底浮起块，形成为相对于上述衬底的输送方向的垂直方向上的宽度比上述衬底的宽度短，浮起上述衬底；定位单元，具有将上述衬底的姿态定位于基准位置的姿态控制部，且被设置在上述衬底浮起块上，在浮起了上述衬底的状态下检测出上述衬底的边缘以识别姿态，并使该被识别出的上述衬底的姿态通过上述姿态控制部沿上述输送方向、相对于输送方向的垂直方向移动而定位到上述基准位置；以及衬底输送机构，设置成夹着上述衬底浮起块而沿上述衬底的输送方向可移动，并吸附保持从上述衬底浮起块向外侧突出的上述衬底的两端部的背面，在浮起了上述衬底的状态下，向上述输送方向输送。 

所述的衬底输送装置，其特征在于，上述定位单元，具有对在浮起了上述衬底的状态下彼此正交的上述衬底的两边的边缘位置信息进行检测的多个传感器，并根据由这些传感器检测出的上述边缘位置信息识别上述姿态，且通过上述姿态控制部对上述衬底进行定位。 

所述的衬底输送装置，其特征在于，上述定位单元具有：多个传感器，检测上述衬底的彼此正交的两边的边缘位置， 

姿态识别部，根据由这些传感器检测出的上述衬底的两边的边缘位置信息，识别上述衬底的姿态， 

其中，上述姿态控制部，对上述衬底输送机构进行移动控制，以将由上述姿态识别部识别出的上述衬底的姿态定位到基准位置。 

所述的衬底输送装置，其特征在于，位于搬入侧的一个上述衬底输送机构具有吸附衬垫和臂，上述吸附衬垫吸附上述衬底的背面，上述臂沿上述输送方向以及该输送方向的垂直方向进行微动，上述定位单元通过上述臂将上述衬底定位到上述基准位置。 

所述的衬底输送装置，其特征在于，上述定位单元进行姿态控制，以使浮起在上述衬底浮起块上的上述衬底平行于上述输送方向，并进行姿态控制以使上述衬底的中心位置与上述衬底浮起块的输送路径的中心位置一致。 

所述的衬底输送装置，其特征在于，上述定位单元分别用上述衬底输送机构的吸附衬垫吸附保持沿上述输送方向的上述衬底的两端部，使被保持的两端部中的至少一个端部在上述输送方向上移动而使上述衬底旋转，使其与上述衬底的输送方向平行，并且使上述衬底在与上述输送方向垂直的方向上移动，从而将上述衬底定位到基准位置。