[发明专利]衬底输送装置

权利要求书

1.一种衬底输送装置，输送平板显示器制造工艺中所制造的衬底，其 特征在于，包括：

衬底浮起块，形成为相对于上述衬底的输送方向的垂直方向上的宽度 比上述衬底的宽度短，浮起上述衬底；

定位单元，具有将上述衬底的姿态定位于基准位置的姿态控制部，且 被设置在上述衬底浮起块上，在浮起了上述衬底的状态下检测出上述衬底 的边缘以识别姿态，并使该被识别出的上述衬底的姿态通过上述姿态控制 部沿上述输送方向、相对于输送方向的垂直方向移动而定位到上述基准位 置；以及

衬底输送机构，设置成夹着上述衬底浮起块而沿上述衬底的输送方向 可移动，并吸附保持从上述衬底浮起块向外侧突出的上述衬底的两端部的 背面，在浮起了上述衬底的状态下，向上述输送方向输送。

2.如权利要求1所述的衬底输送装置，其特征在于，

上述定位单元，具有对在浮起了上述衬底的状态下彼此正交的上述衬 底的两边的边缘位置信息进行检测的多个传感器，并根据由这些传感器检 测出的上述边缘位置信息识别上述姿态，且通过上述姿态控制部对上述衬 底进行定位。

3.如权利要求1所述的衬底输送装置，其特征在于，

上述定位单元具有：

多个传感器，检测上述衬底的彼此正交的两边的边缘位置，

姿态识别部，根据由这些传感器检测出的上述衬底的两边的边缘位置 信息，识别上述衬底的姿态，

其中，上述姿态控制部，对上述衬底输送机构进行移动控制，以将由 上述姿态识别部识别出的上述衬底的姿态定位到上述基准位置。

4.如权利要求1至3的任一项所述的衬底输送装置，其特征在于，

位于搬入侧的一个上述衬底输送机构具有吸附衬垫和臂，上述吸附衬 垫吸附上述衬底的背面，上述臂沿上述输送方向以及该输送方向的垂直方 向进行微动，上述定位单元通过上述臂将上述衬底定位到上述基准位置。

5.如权利要求1至3的任一项所述的衬底输送装置，其特征在于，

上述定位单元进行姿态控制，以使浮起在上述衬底浮起块上的上述衬 底平行于上述输送方向，并进行姿态控制以使上述衬底的中心位置与上述 衬底浮起块的输送路径的中心位置一致。

6.如权利要求1至3的任一项所述的衬底输送装置，其特征在于，

上述定位单元分别用上述衬底输送机构的吸附衬垫吸附保持沿上述输 送方向的上述衬底的两端部，并使被保持的两端部中的至少一个端部在上 述输送方向上移动而使上述衬底旋转，使其与上述衬底的输送方向平行， 并且使上述衬底在与上述输送方向正交的方向上移动，从而将上述衬底定 位到基准位置。