[发明专利]微型机械装置以及微型机械装置的制造方法有效
| 申请号： | 200810170096.0 | 申请日： | 2008-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN101417783A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 宫城武史;井上道信;小幡进;杉崎吉昭 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种微型机械装置及其制造方法，该装置具备：基板；搭载于上述基板上，具有通过电场作用变形的机构，使电气特性伴随该变形而变化的微型机械；包含无机材料，设置在上述基板的主面上，隔着收容有气体的中空部覆盖上述微型机械，并且具有连通上述中空部与外部的开口形状部的内侧无机密封膜；包含有机材料，形成于上述内侧无机密封膜上，填塞上述开口形状部的有机密封膜；以及包含具有比上述有机材料低的透湿性的无机材料，形成于上述有机密封膜上以覆盖上述有机密封膜的外侧无机密封膜。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 机械 装置 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种微型机械装置，其特征在于，具备：基板；搭载于上述基板上，具有通过电场作用变形的机构，使电气特性伴随该变形而变化的微型机械；包含无机材料，设置在上述基板的主面上，隔着收容有气体的中空部覆盖上述微型机械，并且具有连通上述中空部与外部的开口形状部的内侧无机密封膜；包含有机材料，形成于上述内侧无机密封膜上，填塞上述开口形状部的有机密封膜；以及包含具有比上述有机材料低的透湿性的无机材料，形成于上述有机密封膜上并覆盖上述有机密封膜的外侧无机密封膜。
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