[发明专利]一种高温液态氯硅烷的输送方法有效
| 申请号： | 200810147641.4 | 申请日： | 2008-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN101417801A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 戴自忠;易忠海 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/029 | 分类号： | C01B33/029;C01B33/03 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所（普通合伙） | 代理人： | 方 强 |
| 地址： | 614800四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高温液态氯硅烷的输送方法，是对于多晶硅生产中的精馏、回收系统塔釜中的液态氯硅烷进行输送，其特征在于：通过蒸汽将处于低位置的液态氯硅烷加热成气态氯硅烷，气态氯硅烷上升，然后通过RO水将气态氯硅烷冷凝成液态氯硅烷，冷凝后的液态氯硅烷位于高位置的罐内，然后通过调节阀和流量计来控制输送液态氯硅烷到下一个塔或罐；本方法采用再沸器和冷凝器的配合代替了屏蔽泵，这样不仅完全解决了汽蚀现象，而且通过氯硅烷的性态变化使得输送也非常方便，同时所传送的流量可以准确控制，流速平稳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 液态 硅烷 输送 方法 | ||
【主权项】：
1、一种高温液态氯硅烷的输送方法，是对于多晶硅生产中的精馏、回收系统塔釜中的液态氯硅烷进行输送，其特征在于：通过蒸汽将处于低位置的液态氯硅烷加热成气态氯硅烷，气态氯硅烷上升，然后通过RO水将气态氯硅烷冷凝成液态氯硅烷，冷凝后的液态氯硅烷位于高位置的罐内，然后通过调节阀和流量计来控制输送液态氯硅烷到下一个塔或罐。
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