[发明专利]一种高温液态氯硅烷的输送方法有效
| 申请号： | 200810147641.4 | 申请日： | 2008-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN101417801A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 戴自忠;易忠海 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/029 | 分类号： | C01B33/029;C01B33/03 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所（普通合伙） | 代理人： | 方 强 |
| 地址： | 614800四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高温 液态 硅烷 输送 方法 | ||
1.一种高温液态氯硅烷的输送方法，是对于多晶硅生产中的精馏、回收系统塔釜中的液态氯硅烷进行输送，其特征在于：通过蒸汽将处于低位置的液态氯硅烷加热成气态氯硅烷，气态氯硅烷上升，然后通过RO水将气态氯硅烷冷凝成液态氯硅烷，冷凝后的液态氯硅烷位于高位置的罐内，然后通过调节阀和流量计来控制输送液态氯硅烷到下一个塔或罐；所述低位置的液态氯硅烷的温度为85～110℃。
2.根据权利要求1所述一种高温液态氯硅烷的输送方法，其特征在于：所述低位置的液态氯硅烷的压力为0.19～0.4MPa。
3.根据权利要求1所述一种高温液态氯硅烷的输送方法，其特征在于：所述气态氯硅烷的温度为100～130℃，压力为0.19～0.4MPa。
4.根据权利要求1所述一种高温液态氯硅烷的输送方法，其特征在于：所述冷凝后的液态氯硅烷温度为30～60℃，压力为0.19～0.4MPa。
5.根据权利要求1所述一种高温液态氯硅烷的输送方法，其特征在于：所述蒸汽由再沸器产生，蒸汽的压力为0.5～1.0MPa，温度为150～180℃。
6.根据权利要求5所述一种高温液态氯硅烷的输送方法，其特征在于：所述再沸器连接于塔釜底部。
7.根据权利要求5所述一种高温液态氯硅烷的输送方法，其特征在于：所述冷凝是在冷凝器中进行的，冷凝器高于再沸器和下一个塔或罐的进料口。
8.根据权利要求1所述一种高温液态氯硅烷的输送方法，其特征在于：所述RO水的温度为25～35℃、压力为0.5～0.65MPa。
9.根据权利要求1所述一种高温液态氯硅烷的输送方法，其特征在于具体工艺过程为：所述精馏、回收系统塔釜中处于低位置的液态氯硅烷经过再沸器，液态氯硅烷被再沸器内的饱和蒸汽加热成气态，气态氯硅烷从再沸器的出口沿着管道上升至高处的冷凝器，气态氯硅烷被冷凝器内的RO水冷凝成液态氯硅烷，冷凝后的液态氯硅烷流入高位置的罐，然后通过调节阀和流量计控制液态氯硅烷的流量进入下一个塔或罐。
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