[发明专利]固态成像装置及制造固态成像装置的方法

摘要

一种固态成像装置，由按照矩阵布置在半导体基板(6)表面上的光传感器(4)产生的电荷通过埋在光传感器(4)下面的第一和第二传输电极(12、14)传输。半导体基板(6)具有由硅的支撑基板(16)、缓冲层(18)和单晶硅的硅薄膜层(20)构成的多层结构。p^－区(26)(溢出区)和起传输沟道作用的n型区(28)设置在光传感器(4)下面。第一和第二传输电极(12、14)埋入在n型区(28)与缓冲层(18)之间。绝缘层(30)插在n型区(28)与第一和第二传输电极(12、14)之间。由于在此构造中，没有传输电极出现在表面上，因此即使减小光传感器的尺寸以增加像素数量，也可以保持光传感器(4)的灵敏度，并且增加了光接收面积。

主权项

1.一种固态成像装置，具有多个光传感器，该装置包括：支撑基板；缓冲层，设置在该支撑基板的表面上，该缓冲层包括绝缘材料；硅薄膜，设置在所述缓冲层上；所述多个光传感器，设置在所述硅薄膜中，并且按矩阵图形布置；传输通道，设置为与所述光传感器的每个相邻；以及至少一个溢出泄漏电极，设置在所述缓冲层与至少一个所述光传感器之间。