[发明专利]具有可拆式基座的热批处理反应器

摘要

本发明提供了一种用于在批处理腔室中均匀加热和气体流动的装置和方法。该装置包括石英腔体、围绕该石英腔体的可拆式加热部件、耦接到该石英腔体一侧的注入组件，以及具有可拆式基座的衬底舟。在一个实施方式中，该舟可以配置为具有多个基座以在批处理期间控制衬底加热。

主权项

1.一种批处理腔室，包括：石英腔室，配置为包围处理容积；至少一个可拆式加热器，设置在所述石英腔室外部，所述加热器具有一个或多个加热区；外部腔室，配置为包围所述石英腔室和所述至少一个可拆式加热器；注入组件，附接到所述石英腔室，用于将一种或多种工艺气体注入到所述腔室中；排气室，设置在所述石英腔室侧部并与所述注入组件相对；以及衬底舟，设置在所述处理容积中，其中所述衬底舟包括多个可拆式基座并适于支撑在相邻基座之间的一块或多块衬底。