[发明专利]液体供给单元和供给方法、处理基板的设备及处理方法

摘要

本发明提供一种液体供给单元和供给方法、处理基板的设备及处理方法。在液体供给单元中，通过使用提供到缓冲容器的气体压缓冲容器中存在的液体，液体从缓冲容器提供到外部单元。提供压强测量部件来测量缓冲容器内的压强，在缓冲容器的再填充期间当缓冲容器内的压强等于或大于预设参考压强时，气体通过排出管线从缓冲容器排出。

主权项

1.一种液体供给单元，包括：缓冲容器，包括用于容纳液体的空隙空间；液体输入管，液体通过该液体输入管从液体储存容器提供到该缓冲容器；液体供给管，该缓冲容器中存在的液体通过该液体供给管提供到预定单元；气体输入管，加压气体通过该气体输入管从气体储存容器提供到该缓冲容器以用于压该缓冲容器中存在的液体，从而通过该液体供给管从该缓冲容器排出液体；以及排出管线，连接到该缓冲容器以用于从该缓冲容器排出所述加压气体。