[发明专利]一种微型电容式风速传感器

摘要

本发明提出了一种微型电容式风速传感器，包括：薄板、电极、支撑柱、引出电极和衬底。薄板是被风吹动的敏感结构；两个电极分别和薄板构成电容器，两个电容器串联，其等效电容由引出电极引出，用作测量结构；风力作用使薄板发生弯曲形变，引起电容器极距的变化，电容传感器将极距变化信号转变为可以测量的电信号；支撑柱提供薄板和衬底的固定连接并为薄板提供支撑，衬底作为整个传感器的支撑结构。本发明传感器的特点是采用电容信号测量风速信息，具有结构简单、功耗小、响应快、温漂小等优点。该传感器可广泛应用于航空航天、工农业生产和气象应用等领域。

主权项

1、一种微型电容式风速传感器，其特征在于：包括薄板(1)、电极(2)、支撑柱(3)、引出电极(4)、衬底(5)；其中，衬底(5)为板状，两电极(2)、两引出电极(4)固置于衬底(5)上表面，两电极(2)相互平行，且之间有一间隙，两电极(2)的一侧分别通过引线各与一引出电极(4)电连接；薄板(1)一侧沿与支撑柱(3)上端固接，支撑柱(3)下端固接于衬底(5)的上表面；薄板(1)悬空设置在衬底(5)上方，其投影覆盖两电极(2)；薄板(1)下表面和两电极(2)上表面平行，之间有一间隙，使薄板(1)与两电极(2)构成两个串联的电容器。