[发明专利]用于感测喷嘴与物体间的距离的空气压力计及感测方法有效
| 申请号： | 200810110297.1 | 申请日： | 2008-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN101334273A | 公开（公告）日： | 2008-12-31 |
| 发明（设计）人： | 赫尔曼·沃格尔 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B13/12 | 分类号： | G01B13/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于感测到物体的距离的气体压力计及其感测方法。所述气体压力计包括气体供给系统和喷嘴，所述喷嘴将气体从所述气体供给系统供给到在所述喷嘴和所述物体之间的空隙。例如，所述气体供给系统以一定的流率供给气体，所述流率对应于在层流和湍流之间的过渡区域中的流体。所述喷嘴的表面可以被粗糙化，以便增加在所述表面上的摩擦系数，这增加了气体的压降和喷嘴的增益。由增加的流率所生成的噪声可以采用至少一个位于关键位置的亥姆赫兹衰减器和/或缓冲器被衰减。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 喷嘴 物体 距离 空气 压力计 方法 | ||
【主权项】：
1.一种空气压力计，所述空气压力计用于感测到物体的距离，所述空气压力计包括：气体供给系统，所述气体供给系统配置用于供给气体；以及喷嘴，所述喷嘴连接到所述气体供给系统，并设置用于将气体从所述气体供给系统供给到限定在所述喷嘴和所述物体之间的空隙；其中，所述气体供给系统设置用于以一定的流量供给气体，所述流率对应于在所述喷嘴和所述物体之间的空隙内的层流和湍流之间的过渡区域中的流动。
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