[发明专利]探针卡组件以及使用于探针卡组件的中介装置

摘要

本发明揭示一种探针卡组件以及使用于探针卡组件的中介装置，用于一待测晶圆的测试，主要包含一母板与子板。该子板邻近中央附近设置有多个测试探针，用以接触待测晶圆。子板朝向母板以环形阵列状设置有多个第一电性接点，母板中央部分开口处之外侧为对应于第一电性接点处，以环形阵列状设置有多个第二电性接点。探针卡组件进一步包含有至少一个间隔件与多个中介装置，其中间隔件具有一预先设定的厚度，且设置于母板与子板之间，其上设有多个开槽，以使中介装置容置其中。

主权项

1.一种探针卡组件，用于一待测晶圆的测试，主要包含一母板与子板，所述子板邻近中央附近设置有多个测试探针，用以接触待测晶圆，其特征在于：所述子板朝向所述母板以环形阵列状设置有多个第一电性接点，所述母板中央部份设有一开口，所述开口外侧对应于所述多个第一电性接点处，以环形阵列状设置有多个第二电性接点；所述探针卡组件进一步包含有至少一个间隔件与多个中介装置，其中所述间隔件具有一预先设定的厚度，且设置于所述母板与子板之间，其上设有多个开槽，以使所述多个中介装置容置其中，所述多个中介装置的上、下两侧分别具有多个第三电性接点与第四电性接点，且所述多个中介装置受压缩后可弹性变形，以使得所述多个第三电性接点用以接触所述多个第一电性接点，所述多个第四电性接点用以接触所述多个第二电性接点，以使电气信号从所述多个第一电性接点经由所述多个中介装置导通至所述多个第二电性接点。