[发明专利]固体图像捕获设备、其制造方法、及电子信息装置

摘要

本发明涉及固体图像捕获设备、其制造方法、及电子信息装置。提供了一种固体图像捕获装置，其中多个固体图像捕获装置沿一方向沿着基板表面顺序布置，该多个固体图像捕获装置具有沿该半导体基板的深度方向层叠的多个光接收部；且对于入射对象光的电磁波，依据该半导体基板的半导体基板材料的光学吸收系数的波长依存性，具有与相应光接收部的深度相对应的波段的电磁波在相应光接收部被检测；以及信号电荷分别产生，其中，槽部按下述方式设置，该槽部分别从该半导体基板的光入射面或者与该光入射面相对的基板表面到达在平面图中不相互交叠的相应光接收部的位置，其中，读出栅电极设置在每个槽部，且电学电荷转移部被提供，在驱动该读出栅电极时该电学电荷转移部能够通过相应槽的侧壁部独立地将电学电荷从该多个光接收部转移到该光入射面侧或者与该光入射面相对的基板表面侧。

主权项

1.一种固体图像捕获装置，其中多个固体图像捕获装置沿一方向沿着基板表面顺序布置，所述多个固体图像捕获装置具有沿所述半导体基板的深度方向层叠的多个光接收部；且对于入射对象光的电磁波，依据所述半导体基板的半导体基板材料的光学吸收系数的波长依存性，具有与相应光接收部的深度相对应的波段的电磁波在相应光接收部被检测；以及信号电荷分别产生，其中，槽部按下述方式设置，所述槽部分别从所述半导体基板的光入射面或者与所述光入射面相对的基板表面到达在平面图中不相互交叠的相应光接收部的位置，其中，读出栅电极设置在每个槽部，且设置电学电荷转移部，在驱动所述读出栅电极时所述电学电荷转移部能够通过相应槽的侧壁部独立地将电学电荷从所述多个光接收部转移到所述光入射面侧或者与所述光入射面相对的基板表面侧。