[发明专利]探针电阻测量方法和具有用于探针电阻测量的焊盘的半导体装置无效
| 申请号： | 200810091160.6 | 申请日： | 2008-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN101281218A | 公开（公告）日： | 2008-10-08 |
| 发明（设计）人： | 道又重臣;柳泽正之;黑柳一诚 | 申请（专利权）人： | 恩益禧电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01R1/073 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陆锦华;郇春艳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种探针电阻测量方法包括，基于第一对应关系，通过将探针单元的多个探针的至少一部分与三个或更多个用于电阻测量的焊盘接触，测量三个或更多节点处的第一电阻。所测量的电阻被作为第一测量结果存储。基于所述第一测量结果，计算所述探针单元的所述多个探针的接触电阻。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 电阻 测量方法 具有 用于 测量 半导体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种探针电阻测量方法，包括：基于第一对应关系，通过将探针单元的多个探针的至少部分探针与三个或更多个用于电阻测量的焊盘接触，测量三个或更多节点处的第一电阻；存储测量的第一电阻作为第一测量结果；以及基于所述第一测量结果，计算所述探针单元的所述多个探针的接触电阻。
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