[发明专利]信息获取装置、截面评估装置、以及截面评估方法有效
| 申请号： | 200810088429.5 | 申请日： | 2002-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN101266909A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 元井泰子;上野理惠 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28;H01J37/30;H01J37/304;H01J37/317;G01N23/225;G01N23/223 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 康建忠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种截面评估装置，其能够在样品温度被调节的状态下分析截面结构。本发明还公开了一种信息获取装置，其包括用于放置样品的平台、用于调节样品的温度的温度调节装置、用于使想要得到信息的样品的表面曝光的曝光装置、以及用于获取与由曝光装置曝光的表面有关的信息的信息获取装置。 | ||
| 搜索关键词： | 信息 获取 装置 截面 评估 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种截面评估方法，包括步骤：冷却样品；用离子束照射所述样品的预先确定部分以切割截面；以及用电子束扫描所述切割截面，并且与所述扫描同步地，从多个点所发出的发射信号获取与所述截面有关的图像；其中，所述冷却在用离子束照射所述样品的预先确定部分时执行。
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