[发明专利]曝光装置

摘要

本发明提供一种曝光装置，通过有效地进行基板(B)和光掩模(M)及台板(5)的除尘而实现成品率高的曝光。在搬入手(3)的搬入和退避动作时，第一清洁头(1)接触台板(5)的上表面来进行除尘。第二清洁头(2)进行光掩模(M)的除尘。在除尘时通过加压装置(16)经轴承(17)对轴(22)施加载荷，该载荷向硬质连接环(23)、软质连接环(24)、辊芯(21)、清洁部(20)传递，清洁部(20)被按压在清洁面(8)上。虽然轴(22)因加压装置(16)的载荷而弯曲，但轴(22)的弯曲由软质连接环(24)吸收，从而辊芯(21)不弯曲而保持平坦的状态。由此，对清洁面的压力分布变均匀，可进行有效的清洁。

主权项

1.一种曝光装置，该曝光装置具备：用于载置应曝光的印刷布线用的基板的台板；和描绘有应曝光的图形的光掩模，其特征在于，该曝光装置具有：除尘辊，其一边旋转一边与上述基板、台板以及光掩模中的至少一个对象物接触来进行除尘；和将上述除尘辊按压在上述对象物上的加压装置；上述除尘辊具备：辊芯；插入该辊芯中的轴；以及配置在该轴上且支撑辊芯的连接环；上述加压装置与该轴连接并通过该轴来按压除尘辊；上述连接环具有：安装在该轴的中央部的由硬质材料制成的中央部环；和分别安装在该中央部环的两端部侧并由比上述中央部环软的材料制成的端部环。