[发明专利]曝光装置

说明书

技术领域

本发明涉及曝光装置。

背景技术

通过曝光装置在涂敷有光致抗蚀剂(photo resist)等感光材料的基板表面上感光烧结预定的图形、然后通过蚀刻工序在基板上形成图形的光刻法(photolithographic method)在各种领域中广泛使用，印刷布线基板等近年来也使用曝光装置来制造。

在印刷布线基板(print circuit board)的曝光装置中，如果在光掩模(photo mask)和基板之间存在尘埃，则存在该部分未曝光而成为不良产品的问题。

该尘埃中，有例如铜箔那样自身不具有粘着性的尘埃和干膜光致抗蚀剂(dry film photo resist)或抗焊剂(solder resist)那样自身具有粘着性的尘埃，为了除去此类尘埃而提出了在曝光装置中设置除尘装置的结构，且已知有使用粘着性辊等除尘辊来作为除尘装置的结构。

专利文献1：日本专利第3533380号

但是，在以往的使用除尘辊的除尘装置的情况下，由于是在辊轴的两端施加大的载荷(例如，对640mm的辊施加160N的载荷)来进行清洁的结构，所以辊以其端部为支点向上突出地弯曲，由此，辊对清洁对象面的压力分布变得不均匀，辊和清洁面在轴向的中央部成为非接触，存在清洁性能变差的问题。此外，在使用粘着带辊来作为除尘辊的情况下，因压力分布的不均匀而容易在粘着带辊上产生皱纹，这也成为使清洁性能变差的原因。

发明内容

本发明的目的是解决上述现有技术的问题点。

为了实现上述目的，本发明的曝光装置具备：用于载置应曝光的印刷布线用的基板的台板；和描绘有应曝光的图形的光掩模，其特征在于，该曝光装置具有：除尘辊，其一边旋转一边与上述基板、台板以及光掩模中的至少一个对象物接触来进行除尘；和将上述除尘辊按压在上述对象物上的加压装置；上述除尘辊具备：辊芯；插入该辊芯中的轴；以及配置在该轴上且支撑辊芯的连接环；上述加压装置与该轴连接并通过该轴来按压除尘辊；上述连接环具有：安装在该轴的中央部的由硬质材料制成的中央部环；和分别安装在该中央部环的两端部侧并由比上述中央部环软的材料制成的端部环。

在上述结构中，虽然加压装置与轴连接，轴因该加压而弯曲，但轴的弯曲被端部环吸收，从而可抑制辊芯的弯曲。因此，辊对清洁面的载荷均匀化，可进行有效的除尘。此外，在将粘着带辊用于辊的情况下，可抑制粘着带辊侧产生皱纹，同样可进行有效的除尘。

根据本发明的曝光装置，由于可有效地进行除尘，所以具有可实现成品率高的曝光的效果。

附图说明

图1是表示本发明一个实施方式的概要主视图。

图2是表示本发明的一个实施方式的第一清洁头1和第二清洁头2的结构的概要主视图。

图3是表示本发明的一个实施方式的第一清洁头1和第二清洁头2的结构的概要俯视图。

图4是表示本发明的一个实施方式的清洁辊11的结构的概要主视图。

图5是本发明的一个实施方式的清洁辊11的动作说明图。

符号说明

1：第一清洁头；2：第二清洁头；3：搬入手；4：搬出手；5：台板；6：掩模架；7：曝光台；8：清洁面；9：光源；10：曝光部；11：清洁辊；12：吸引集尘机；13：除电刷；16：加压装置；17：轴承；19：粘着带辊部；20：清洁部；21：辊芯；22：轴；23：硬质连接环；24：软质连接环；30：搬入部；40：搬出部。

具体实施方式

下面，根据附图来说明本发明的实施方式。

首先，对用于制造印刷布线基板的曝光装置的整体结构进行说明。

在图1中，施加有光致抗蚀剂的印刷布线基板B被载置于台板(platen)5上，可通过曝光台7在XYZ及θ方向上移动。在曝光部10中，在基板B的上方配置有在掩模架6上安装的光掩模M，进一步在其上方设有光源9。来自光源9的曝光光线将在光掩模M上描绘的图形曝光在基板B上。

在上述曝光部10的一侧设有搬入部30，从前一工序将基板B搬送到这里。在搬入部30中设有搬入手3，由该搬入手3对基板B进行吸附固定，并将基板B搬运到台板5上。

在曝光部10的另一侧设有搬出部40，构成为将在曝光部10中曝光后的基板B搬送到这里，并将其送至后一工序。在搬出部40设有搬出手4，构成为搬出手4移动到台板5上的基板B的位置，将基板B吸附固定并输送到搬出部40。