[发明专利]曝光装置

权利要求书

1.一种曝光装置，该曝光装置具备：用于载置应曝光的印刷布线用的基板的台板；和描绘有应曝光的图形的光掩模，其特征在于，

该曝光装置具有：

除尘辊，其一边旋转一边与上述基板、台板以及光掩模中的至少一个对象物接触来进行除尘；和

将上述除尘辊按压在上述对象物上的加压装置；

上述除尘辊具备：辊芯；插入该辊芯中的轴；以及配置在该轴上且支撑辊芯的连接环；

上述加压装置与该轴连接并通过该轴来按压除尘辊；

上述连接环具有：安装在该轴的中央部的由硬质材料制成的中央部环；和分别安装在该中央部环的两端部侧并由比上述中央部环软的材料制成的端部环。

2.一种曝光装置，该曝光装置具备：用于载置应曝光的基板的台板；为了将该基板载置于台板上而将基板搬入的基板搬入装置；将该基板从台板搬出的基板搬出装置；以及描绘有应曝光的图形的光掩模，其特征在于，

所述曝光装置具有：

第一除尘辊，其与上述基板搬入装置连动地移动，在上述基板搬入时对上述台板进行除尘，在基板搬入后的退避时，对载置于上述台板上的基板进行除尘；

第二除尘辊，其与上述基板搬出装置连动地移动，对上述光掩模进行除尘；以及

加压装置，其将上述除尘辊按压在上述基板或光掩模上；

上述除尘辊具备：辊芯；插入该辊芯中的轴；以及配置在该轴上且支撑辊芯的连接环；

上述加压装置与该轴连接并通过该轴来按压除尘辊；

上述连接环具有：安装在该轴的中央部的由硬质材料制成的中央部环；和分别安装在该中央部环的两端部侧并由比上述中央部环软的材料制成的端部环。

3.根据权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于，

上述连接环的数量可增减。

4.根据权利要求1、2或3所述的曝光装置，其特征在于，

上述连接环可在上述轴上移动。

5.根据权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于，

上述中央部环形成为不会因上述加压装置的按压而变形；

上述端部环形成为会因上述加压装置的按压而变形。

6.根据权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于，

上述中央部环由钢材制成；

上述端部环由聚氨酯橡胶材料制成。