[发明专利]半导体激光阵列快慢轴光束参数乘积匀称化装置

摘要

本发明是一种半导体激光阵列快慢轴光束参数乘积均匀化装置，属于激光技术应用领域。包括一组半导体激光阵列快慢轴准直微透镜单元、平板玻璃堆A、B和聚焦透镜组。经快慢轴准直微透镜后的光垂直入射到平板玻璃堆A，光束被分割成多份并在各自对应的平板玻璃中产生折射偏移，得到沿激光阵列快轴方向成阶梯形分布的线性光束。此梯形状线性光束再经过平板玻璃堆B，依据相同的光束重组原理，使光束沿阵列慢轴方向产生折射偏移并被进一步重排为线状的线性光束。这样半导体激光阵列发出的光束在快慢轴上有了更加接近的光束参数乘积，即快慢轴方向较平衡的光束质量。最后经过聚焦透镜组的聚焦，可得到高功率密度、高亮度的快慢轴方向均匀的聚焦光斑。

主权项

1.半导体激光阵列快慢轴光束参数乘积匀称化装置，包括有半导体激光一维阵列(1)、准直快慢轴的第一微透镜阵列(2)和聚焦透镜组；其特征在于：还包括有第一平板玻璃堆(A)和第二平板玻璃堆(B)；其中，所述的第一平板玻璃堆(A)和第二平板玻璃堆(B)都是由N对玻璃平板沿玻璃平板厚度方向依次叠加而成，N是光束被分割的份数，每对玻璃平板均包括两个相同的、置于同一水平面且对应斜边和直角边分别平行并呈上下倒置放置的玻璃板；第一平板玻璃堆(A)和第二平板玻璃堆(B)相互垂直放置，第一平板玻璃堆(A)的厚度方向平行于半导体激光阵列的慢轴方向，第二平板玻璃堆(B)的厚度方向平行于半导体激光阵列的快轴方向；从半导体激光一维阵列(1)发出的光经准直快慢轴的第一微透镜阵列(2)准直后，通过第一平板玻璃堆(A)的直角边传入第一平板玻璃堆(A)，经第一平板玻璃堆(A)的斜边折射后从第一平板玻璃堆(A)的另一个直角边输出，第一平板玻璃堆(A)使光束产生了不同的偏移形成阶梯行光束，第二平板玻璃堆(B)使阶梯形光束变换为竖直排列的光束后进入聚焦透镜组。