[发明专利]一种阳极键合装置有效
| 申请号： | 200810048430.5 | 申请日： | 2008-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN101332973A | 公开（公告）日： | 2008-12-31 |
| 发明（设计）人： | 甘志银;张廷凯 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种阳极键合设备，主要包括外腔、加压装置、电极和位于外腔底部的自动调平装置，自动调平装置含有基板，基板包括底盘和位于其上的凸台，凸台内部均匀开有至少三个沉孔，沉孔内放置弹簧，弹簧的上端放置球头柱，该球头柱为半球状的另外一端伸出沉孔与隔热基板相接触，在底盘上端凸台的外沿处设置三个均匀分布的限位杆，限位杆略高于球头柱与隔热基板的接触面，起到对隔热基板限位的作用。本发明通过自动调平装置使得整个键合装置形成上下浮动结构，在样片键合时实现自动调平，样片均匀贴合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阳极 装置 | ||
【主权项】：
1、一种阳极键合设备，包括外腔、加压装置(15)、电极(11)，电极(11)由上电极和下电极构成，外腔上部设有加压装置(15)，从加压装置(15)往下依次放置隔热材垫板(14)、上加热器(13)、第二绝缘垫板(12)和上电极，其特征在于，还包括位于外腔底部的基板(4)，基板(4)包括底盘和位于其上的凸台，凸台内部均匀开有至少三个沉孔，沉孔内放置弹簧(6)，弹簧(6)的上端放置球头柱(7)，该球头柱(7)为半球状的另外一端伸出沉孔与隔热基板(8)相接触，在底盘上端凸台的外沿处设置三个均匀分布的限位杆(5)，限位杆(5)略高于球头柱与隔热基板(8)的接触面，起到对隔热基板(8)限位的作用；从隔热基板(8)往上依次放置下加热器(9)、第一绝缘垫板(10)和下电极，下电极和上电极位置相对应。
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