[发明专利]一种阳极键合装置

权利要求书

1.一种阳极键合装置，包括外腔、加压装置（15）、电极（11），电极（11）由上电极和下电极构成，外腔上部设有加压装置（15），加压装置（15）底端伸入外腔内依次连接隔热材垫板（14）、上加热器（13）、第二绝缘垫板（12）和上电极，其特征在于，

还包括位于外腔内底部的基板（4），基板（4）包括底盘和位于其上的凸台，凸台内部均匀开有至少三个沉孔，沉孔内放置弹簧（6），弹簧（6）的上端放置球头柱（7），该球头柱（7）为半球状的一端伸出沉孔与隔热基板（8）相接触，在底盘上端凸台的外沿处设置三个均匀分布的限位杆（5），限位杆（5）略高于球头柱与隔热基板（8）的接触面，起到对隔热基板（8）限位的作用；从隔热基板（8）往上依次放置下加热器（9）、第一绝缘垫板（10）和下电极，下电极和上电极位置相对应。

2.根据权利要求1所述的一种阳极键合装置，其特征在于，所述阳极键合设备还包括分别与外腔（1）相接的真空获得系统（20）、气路接口（16）、真空检测仪表（18）和高压检测仪表（19）。

3.根据权利要求1所述的一种阳极键合装置，其特征在于，在所述外腔（1）底部与基板（4）之间增设两支撑台（2），两支撑台（2）分别支撑一导轨，所述基板（4）放于两导轨上。