[发明专利]用于进行加速软错误率测试的系统和方法

摘要

本发明提供了供用户对半导体样本进行加速软错误测试(ASER)的装置。该装置包括用于支持辐射源的第一部件，其中辐射源可以是α粒子源或中子粒子源。该装置包括用于支持半导体样本的第二部件，其中半导体样本可以是硅晶片或半导体芯片或成品元件。该装置包括连接组件，用于将第一部件和第二部件彼此相对地放置在多个位置，以多种应力效率使半导体样本经受来自辐射源的辐射应力。优点是改善了ASER测试的可重复性和可信性，减弱了对进行ASER测试的操作员的辐射。

主权项

1.一种供用户使用来自辐射源的辐射对半导体样本进行加速软错误测试(ASER)的装置，该装置包括：用于支持辐射源的第一部件，该第一部件用于支持多种尺寸和形状的辐射源；用于支持半导体样本的第二部件，该第二部件用于支持多种尺寸和形状的半导体材料；以及耦合到所述第一部件和耦合到所述第二部件的连接组件，该连接组件用于将第一部件和第二部件彼此相对地放置在多个位置，所述多个位置包括多个测试位置、第一装载位置和第二装载位置，所述多个测试位置中的每个测试位置由用于使半导体样本经受辐射应力的几何因子(GF)来表征，所述几何因子描述施加于所述半导体样本的辐射应力的应力效率，所述第一装载位置被配置为将辐射源放置在便于用户装、卸辐射源的位置和方向，所述第二装载位置被配置为将半导体样本放置在便于用户装、卸所述半导体样本的位置和方向。