[发明专利]碲镉汞长波光导型红外面阵探测器及多层电极的制备方法

摘要

本发明公开了一种碲镉汞长波光导型红外面阵探测器及多层电极的制备方法，该探测器包括：衬底，与衬底接触的碲镉汞薄片，通过光刻在碲镉汞薄片上形成光敏元列阵及分别位于光敏元二侧的信号引出电极区和公共电极区，其特征是：信号引出电极区和公共电极区采用多层立交布置，在两层电极区交叠处依次设置有负胶层、SiO₂层作为复合绝缘介质。该多层电极的制备方法，主要包括复合绝缘介质的置备。本发明的优点是：电极区采用多层立交布置，增大了光敏面的有效使用面积，提高了器件的成像性能。本发明特别适合正面引出电极的光导型焦平面的器件，尤其是长波和甚长波的碲镉汞光导型焦平面探测器。

主权项

1.一种碲镉汞长波光导型红外面阵探测器，包括：衬底(1)，通过环氧胶(2)固定在衬底上的碲镉汞薄片，与衬底接触的碲镉汞薄片一面带有钝化层(3)，通过光刻在碲镉汞薄片上形成光敏元列阵(4)及分别位于光敏元二侧的信号引出电极区(5)和公共电极区(6)，信号引出电极区(5)上依次生长有金属铟层(501)、金属金层(502)，公共电极区(6)上依次生长有金属铬层(601)、金属金层(602)，其特征在于：信号引出电极区(5)和公共电极区(6)为多层立交布置，公共电极区位于信号引出电极区上面，在两层电极区叠交处依次设置有负胶层(7)、SiO2层(8)作为复合绝缘介质层。