[发明专利]组装式神经微探针阵列的制作方法

摘要

本发明属于神经微探针阵列技术领域，具体为一种组装式神经微探针阵列的制作方法。该方法用电镀焊接的方法把微探针阵列与对应的柔性互连线组装在一起，并用定刻胶对焊接处进行加固，电化学腐蚀出金属探针针尖后，用聚对二甲苯涂敷除插脚外的所有地方，接着，反应离子刻蚀掉针尖上的聚对二甲苯，根据刻蚀的条件可以控制微探针的阻抗。金属微探针有足够的强度刺入神经组织，而柔性互连线不会引起太大的损伤，这种方法制作的神经探针集合了两者的优点，有利于用作长期植入式神经信号的探测。

主权项

1.一种组装式神经微探针阵列的制作方法，其特征在于具体步骤如下：(a)用微加工的方法制作柔性互连线，一端为用于组装金属微探针的金属微孔阵列，另一端为用于连接探测仪器的外接插脚；(b)制作与柔性互连线微孔阵列相匹配的插槽，并通过插槽截取比插槽厚度长0.8～1.2mm的金属线段，用作金属微探针；(c)把金属微探针穿过柔性互连线的微孔阵列并安装在插槽内，用双面胶固定；(d)把固定好金属微探针的微孔阵列浸入镀铜溶液中，外接插脚与电镀电源的阴极连接，对金属微孔阵列进行电镀，直到金属微探针与柔性互连线的微孔焊接在一起，实现金属微探针与柔性互连线的组装；(e)用光刻胶封装微探针阵列的电镀焊接处，使微探针阵列与柔性互连线的微孔端结合得更加牢固；(f)将金属微探针阵列与插槽分离，用电化学腐蚀的方法腐蚀出微探针针尖；(g)除插脚外，对整个器件涂敷聚对二甲苯，反应离子刻蚀去掉微探针尖端的聚对二甲苯，露出微探针针尖。