[发明专利]组装式神经微探针阵列的制作方法

权利要求书

1.一种组装式神经微探针阵列的制作方法，其特征在于具体步骤如下：

(a)用微加工的方法制作柔性互连线，一端为用于组装金属微探针的金属微孔阵列，另一端为用于连接探测仪器的外接插脚；

(b)制作与柔性互连线微孔阵列相匹配的插槽，并通过插槽截取比插槽厚度长0.8～1.2mm的金属线段，用作金属微探针；

(c)把金属微探针穿过柔性互连线的微孔阵列并安装在插槽内，用双面胶固定；

(d)把固定好金属微探针的微孔阵列浸入镀铜溶液中，外接插脚与电镀电源的阴极连接，对金属微孔阵列进行电镀，直到金属微探针与柔性互连线的微孔焊接在一起，实现金属微探针与柔性互连线的组装；

(e)用光刻胶封装微探针阵列的电镀焊接处，使微探针阵列与柔性互连线的微孔端结合得更加牢固；

(f)将金属微探针阵列与插槽分离，用电化学腐蚀的方法腐蚀出微探针针尖；

(g)除插脚外，对整个器件涂敷聚对二甲苯，反应离子刻蚀去掉微探针尖端的聚对二甲苯，露出微探针针尖。