[发明专利]全固态T型双腔组合腔内倍频单向重叠输出准连续绿光激光器

摘要

本发明公开了激光器，特别是一种全固态T型双腔组合腔内倍频单向重叠输出准连续绿光激光器，采用由两个子腔组合而成，每个子腔均采用平－凹腔结构，子腔中采用型号相同的半导体激光器泵浦组件侧面泵浦Nd:YAG晶体，通过计算机模拟对每个子腔进行优化设计，使得子腔内形成了稳定运转的1064nm基频光，经过声光调Q技术和倍频技术，使每个子腔都获得532nm准连续绿光，并在两倍频晶体内重叠经谐波反射镜反射，获得二次倍频一并输出。整个系统最终获得功率达到202W的532nm绿光输出。该激光器不需要任何热透镜和热致双折射补偿元件，具有输出功率高、光束质量好、倍频效率高、稳定性好，医疗、工业应用性强等优点。

主权项

1、一种全固态T型双腔组合腔内倍频单向重叠输出准连续绿光激光器，包括分别由平凹全反射端镜(1)和平面绿光输出镜(7)、平凹全反射端镜(14)和输出镜(8)组成两个平-凹子腔，其特征在于所述入射凹面全反射端镜(1)的水平光路上依次设置有声光调Q晶体(2)、激光晶体(3)、45°谐波反射镜(5)，倍频晶体(6)、平面绿光输出镜(7)；由平凹全反射端镜(14)引出的光路上依次放置声光调Q晶体(13)、激光晶体(11)、二次谐波反射镜(10)、倍频晶体(9)、平面输出镜(8)，水平方向激光晶体(3)与垂直方向平面输出镜(8)输出的光叠加汇聚于45°谐波反射镜(5)上，通过45°谐波反射镜(5)依次输入给倍频晶体(6)、平面输出镜(7)，所述激光晶体(3、11)均为尺寸与掺杂相同的Nd:YAG晶体，各通光面均镀有基频光增透膜并采用循环水冷却，在Nd:YAG侧面等间距放置的由多个半导体激光二极管阵列构成大功率半导体泵浦组件(4、12)，激光晶体(3)与半导体泵浦组件(4)，激光晶体(11)与半导体泵浦组件(12)分别构成两个1064nm激光模块，并由各自的驱动源控制。