[发明专利]用于沉积金属氧化物膜的方法无效
| 申请号： | 200780102346.0 | 申请日： | 2007-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN101970709A | 公开（公告）日： | 2011-02-09 |
| 发明（设计）人： | 卡洛·塔利亚尼;彼得·诺扎尔 | 申请（专利权）人： | 卡洛·塔利亚尼;彼得·诺扎尔 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丙林;张英 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于在支撑体的表面上沉积金属氧化物膜的方法，该方法包括以下步骤：提供沉积室；在沉积室中提供电子和等离子体的脉冲束；在沉积室中提供支撑体，其中支撑体具有沉积表面；在沉积室中提供由包含金属氧化物的材料制成的靶体，其中靶体具有靶表面；通过电子和等离子体的脉冲束对靶表面进行撞击，形成从靶表面消融的金属氧化物的羽流；以及通过使羽流与沉积表面接触，在沉积表面上沉积金属氧化物膜。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 金属 氧化物 方法 | ||
【主权项】：
一种用于在针对金属氧化物膜的支撑体的表面上沉积金属氧化物膜的方法，包括以下步骤：‑提供沉积室；‑在所述沉积室中提供电子和等离子体的脉冲束；‑在所述沉积室中提供支撑体，所述支撑体具有沉积表面；‑在所述沉积室中提供由包含所述金属氧化物的材料制成的靶体，所述靶体具有靶表面；‑通过所述电子和等离子体的脉冲束对所述靶表面进行撞击，提供从所述靶表面消融的金属氧化物的羽流；以及‑通过使所述羽流与所述沉积表面的接触，在所述沉积表面上沉积金属氧化物膜。
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