[发明专利]载气系统以及基片载物台到装载埠的联接无效
申请号: | 200780041428.9 | 申请日: | 2007-09-14 |
公开(公告)号: | CN101600637A | 公开(公告)日: | 2009-12-09 |
发明(设计)人: | F·威廉;B·丹尼尔 | 申请(专利权)人: | 布鲁克斯自动化公司 |
主分类号: | B65H1/24 | 分类号: | B65H1/24;B65G65/02;H01L21/677 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 温大鹏 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 对基片载物台加压的方法包含对一种腔室加压以及通过从腔室向载物台释放气体在载物台内维持一种压力的方法。这种腔室与载物台以及/或者载物台内的基片晶舟是一个单位构造。 | ||
搜索关键词: | 系统 以及 基片载物台到 装载 联接 | ||
【主权项】:
1.向基片载物台加压的一种方法:包含:向一种腔室加压,该腔室与载物台以及/或者载物台内的晶舟是一个单位构造;以及通过从腔室中释放气体到载物台维持此载物台内的压力水平。
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