[发明专利]耐腐蚀性构件及其制备方法无效
| 申请号： | 200780037357.5 | 申请日： | 2007-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN101522946A | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 小林敏夫;森川良实;高柳晃一郎 | 申请（专利权）人： | 旭科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00;C03C23/00;C23C28/04;C25D11/18 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 熊玉兰;孙秀武 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供耐酸性、耐等离子体性和亲水性高的耐腐性构件及其制备方法。对被处理构件(陶瓷类、金属类)喷雾300-1000℃的过热水蒸气，进行表面处理，得到具有高耐酸性、耐等离子体性和亲水性的耐腐蚀性构件。耐腐蚀性构件可以是与通过PVD、CVD、干法蚀刻等气相法对基材实施表面处理的气相表面处理装置(反应室等)内的处理空间接触的构件。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀性 构件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1. 耐腐性构件，该耐腐性构件是包括无机物、且通过表面改性使耐腐蚀性提高的构件，具有耐酸性和耐等离子体性。
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