[发明专利]用集成到西门子型工艺中的流化床反应器生产硅无效
| 申请号： | 200780032303.X | 申请日： | 2007-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN101541678A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | A·N·阿维德森;M·莫尔纳 | 申请（专利权）人： | 赫姆洛克半导体公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;C01B33/03 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 孙 爱 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 使用流化床反应器和西门子反应器来生产多晶硅。该工艺包括将来自西门子反应器的排放气体作为进料气进料到所述流化床反应器中。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 西门子 工艺 中的 流化床 反应器 生产 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：1)将来自一个或多个西门子反应器的排放气流进料到一个或多个流化床反应器中。
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