[发明专利]用集成到西门子型工艺中的流化床反应器生产硅

权利要求书

1.一种方法，包括：1)将来自一个或多个西门子反应器的排放 气流进料到一个或多个流化床反应器中。

2.权利要求1的方法，其中所述排放气流包含氢气和氯硅烷。

3.权利要求1的方法，其中所述排放气流包含氢气和硅烷。

4.权利要求2的方法，进一步包括用额外的氯硅烷补充所述排放 气流。

5.权利要求4的方法，其中所述额外的氯硅烷包含三氯硅烷、四 氯化硅或它们的组合。

6.权利要求1的方法，进一步包括将通过所述西门子反应器生产 的硅用于集成电路、太阳能电池或两者。

7.权利要求1的方法，进一步包括将通过所述流化床反应器生产 的硅用于太阳能电池。

8.权利要求2的方法，其中所述排放气流包含三氯硅烷、四氯化 硅、氢气、氯化氢和硅粉，和所述方法进一步包括在将所述排放气流进 料到所述流化床反应器前从所述排放气流中除去硅粉。

9.权利要求2的方法，其中任选地用额外的三氯硅烷补充所述排 放气流以形成到所述流化床反应器的进料气流，并且到所述流化床反应 器的所述进料气流包含浓度为20摩尔％-50摩尔％的氯硅烷。

10.权利要求2的方法，进一步包括：2)将来自所述流化床反应 器的第二排放气流进料到回收系统。

11.权利要求10的方法，其中所述第二排放气流包含：氢气、三 氯硅烷、四氯硅烷和氯化氢。

12.权利要求10的方法，进一步包括：3)回收氢气、三氯硅烷或 两者，并将所述氢气、三氯硅烷或两者进料到步骤1)中的西门子反应 器中。

13.权利要求10的方法，进一步包括：3)回收四氯硅烷，将所述 四氯硅烷转化成三氯硅烷，并将所述三氯硅烷进料到步骤1)中的西门 子反应器中。

14.一种方法，包括：i)将来自多个西门子反应器的排放气流直 接进料到一个或多个流化床反应器中而没有中间处理步骤。

15.权利要求14的方法，其中所述排放气流包含氢气和氯硅烷。

16.权利要求14的方法，其中所述排放气流包含氢气和硅烷。

17.权利要求14的方法，进一步包括将通过所述西门子反应器生 产的硅用于集成电路、太阳能电池或两者。

18.权利要求14的方法，进一步包括将通过所述流化床反应器生 产的硅用于太阳能电池。

19.权利要求15的方法，其中所述排放气流包含三氯硅烷、四氯 化硅、氢气、氯化氢和硅粉。

20.权利要求15的方法，进一步包括：ii)将来自所述流化床反 应器的第二排放气流进料到回收系统。

21.权利要求20的方法，其中所述第二排放气流包含：氢气、三 氯硅烷、四氯硅烷和氯化氢。

22.权利要求20的方法，进一步包括：iii)回收氢气、三氯硅烷 或两者，并将所述氢气、三氯硅烷或两者进料到步骤i)中的西门子反 应器中。

23.权利要求20的方法，进一步包括：iii)回收四氯硅烷，将所 述四氯硅烷转化成三氯硅烷，并将所述三氯硅烷进料到步骤i)中的西 门子反应器中。