[发明专利]层叠薄膜的制造方法、层叠薄膜的缺陷检测方法、层叠薄膜的缺陷检测装置、层叠薄膜、以及图像显示装置有效
| 申请号： | 200780001727.X | 申请日： | 2007-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN101360990A | 公开（公告）日： | 2009-02-04 |
| 发明（设计）人： | 小林孝正;萩原陆宏;矢野祐树;自然浩次 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/896 | 分类号： | G01N21/896;G01M11/00;G02B5/30 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明在使用检查用偏光滤光器或检查用相位差滤光器对具有偏振镜的层叠薄膜进行缺陷检查时，按照适当的顺序配置应该在拍摄光程中配置的构件。提供层叠有偏振片(1)和光学补偿层的层叠薄膜(11)的缺陷检测方法，包括：通过配置在层叠薄膜(11)的薄膜面的偏振片叠层侧的光源照射光的工序、通过配置在薄膜面的光学补偿层侧的摄像部(12)对层叠薄膜(11)的透过光像进行拍摄的工序、和根据由摄像部(12)拍摄的透过光像对存在于层叠薄膜(11)的缺陷进行检测的缺陷检测工序，通过位于光源(13)和摄像部(12)之间的光程上且与摄像部(13)邻接配置的检查用滤光器(15)、和位于光源(13)和摄像部(12)之间的光程上且配置在检查用偏光滤光器(15)和层叠薄膜(11)之间的检查用相位差滤光器(16)，利用摄像部(12)进行摄像。 | ||
| 搜索关键词： | 层叠 薄膜 制造 方法 缺陷 检测 装置 以及 图像 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种层叠薄膜的制造方法，包括：至少层叠偏振片和光学补偿层制造层叠薄膜的工序、和对所制造的层叠薄膜进行缺陷检查的工序，其特征在于，所述缺陷检查工序包括：通过配置在层叠薄膜的偏振片叠层侧的光源向层叠薄膜照射光的工序、通过配置在层叠薄膜的光学补偿层侧的摄像部对层叠薄膜的透过光像进行拍摄的工序、和根据由摄像部拍摄的透过光像对存在于层叠薄膜的缺陷进行检测的缺陷检测工序，通过位于光源和摄像部之间的光程上且与摄像部邻接配置的检查用滤光器、和位于光源和摄像部之间的光程上且配置在检查用偏光滤光器和层叠薄膜之间的检查用相位差滤光器，利用所述摄像部进行摄像。
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