[发明专利]层叠薄膜的制造方法、层叠薄膜的缺陷检测方法、层叠薄膜的缺陷检测装置、层叠薄膜、以及图像显示装置

说明书

技术领域

本发明涉及至少层叠有偏振片和光学补偿层的层叠薄膜的制造方法、层叠薄膜的缺陷检测方法、层叠薄膜的缺陷检测装置、层叠薄膜、以及图像显示装置。

背景技术

作为本发明的层叠薄膜，已知有通过粘合剂层在偏振片上层叠了相位差薄膜(相当于光学补偿层)而成的膜。该层叠薄膜的层叠结构例如图12所示。该层叠薄膜11是由以偏振镜1a和在其两侧通过胶粘剂层层叠的保护薄膜1b所构成的偏振片1、和光学补偿层、例如在偏振片1的一个面上通过粘合剂层2a层叠的相位差薄膜2(或者，直接层叠在偏振片1的一个面上的相位差层)构成。当对在该偏振片1中存在的异物、损伤、裂点(knick)等缺陷进行检查时，利用适当的光源向偏振片1照射光，借助线传感器摄像机或二维电视摄像机等的摄像部获得其反射光像或透过光像，根据获得的图像数据，进行缺陷检测。另外，在进行偏振片的检查时，在使检查用偏光薄膜介于光源和摄像部之间的光程中的状态下，获得图像数据。通常该检查用偏光滤光器的偏光轴(例如，偏光吸收轴)被配置成与作为检查对象的偏振片1的偏光轴(例如，偏光吸收轴)正交的状态(交叉尼科耳)。通过配置成交叉尼科耳，假设不存在缺陷，则从摄像部输入全面黑的图像，如果存在缺陷，则该部分不为黑。因此，通过设定适当的阈值，可以检测出缺陷。

但是，在除了偏振镜之外还存在具有相位差的光学补偿层的层叠薄膜中，来自光源的光通过光学补偿层，由此出现光轴错位，实质上偏振镜和检查用偏光滤光器不会达到交叉尼科尔状态。其结果，存在无法高精度地 检查偏振片的缺陷的问题。

作为解决了该问题的层叠薄膜(带有保护膜的偏振片)的缺陷检测装置，公知的是下述专利文献1所公开的偏振片检查装置。该偏振片检查装置具有配置在偏振片的一侧的光源、配置在偏振片的另一侧并对偏振片的透过光像进行拍摄的摄像部、配置在偏振片和光源之间的光程中的检查用偏光滤光器以及检查用相位差板。使用使来自光源的光成为直线偏振光的检查用偏光滤光器，使该直线偏振光入射到带有保护膜的偏振片，根据其透过光像进行缺陷检测。进而，在从光源透过带有保护膜的偏振片的光程上，配置有对由保护膜的光的双折射进行补偿的相位差板。通过另外配置该相位差板，可以消除由具有相位差的保护膜的相位变化，对由保护膜的光的双折射进行补偿。进而，为了对每个产品的由微妙不同的保护膜的双折射进行补偿，还公开有配置可以通过电压调节光的相位角的可变偏振光用光学元件的结构例。

专利文献1：特开2005-9919号公报

但是，最近，包含偏振片的层叠薄膜的大型化也在不断进展，在上述专利文献1所述的方法中存在大量不良情况。

首先，随着检查对象即层叠薄膜的大型化，由于要向薄膜面内照射均匀的光，所以光源也在大型化。与此相伴随，在专利文献1那样的结构中，需要具有与能够覆盖光源相对应的面积的检查用滤光器。例如，由于要检查具有达1500mm的宽度方向长度的薄膜，为了向端部也照射均匀的光，通常需要使用宽1800mm左右的光源，但同样也需要宽1800mm以上的检查用滤光器。为此，检查用滤光器的保养变得非常困难。进而，有时与根据每个产品不同的偏光轴或光学轴对应地使上述检查用滤光器旋转，但此时，需要与光源同等大小的检查用滤光器，更换等保养或旋转所需的作业更是具有难度。

在上述专利文献1的结构中，检查用滤光器接近光源，通常以一定状态被暴露，所以由于热或光能而滤光器容易劣化。其结果，不仅用于更换检查用滤光器的成本耗费大，而且随着检查用滤光器的劣化，缺陷的检测精度也劣化，所以缺陷制品的流出增加。

发明内容

本发明正是鉴于上述情况而完成的发明，其课题在于，提供在使用检查用偏光滤光器或检查用相位差滤光器对具有偏振片的层叠薄膜进行缺陷检查时、能够通过适当配置应该在拍摄光程中配置的构件而使上述层叠薄膜的缺陷的检测遗漏极少且使层叠薄膜长时间品质稳定的层叠薄膜的制造方法，层叠薄膜的缺陷检测方法，以及层叠薄膜的缺陷检测装置。

为了解决上述课题，本发明的层叠薄膜的制造方法，其包括：

至少层叠偏振片和光学补偿层制造层叠薄膜的工序、和对所制造的层叠薄膜进行缺陷检查的工序，其特征在于，上述缺陷检查工序包括：

通过配置在层叠薄膜的偏振片叠层侧的光源向层叠薄膜照射光的工序、

通过配置在层叠薄膜的光学补偿层侧的摄像部对层叠薄膜的透过光像进行拍摄的工序、和

根据由摄像部拍摄的透过光像对存在于层叠薄膜的缺陷进行检测的缺陷检测工序，