[发明专利]耐气蚀部件及其制造方法无效
| 申请号： | 200780000455.1 | 申请日： | 2007-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN101321892A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 佐藤贵康;金泽孝明;七原正辉 | 申请（专利权）人： | 丰田自动车株式会社 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C28/00;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 马江立;柴智敏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及耐气蚀部件及其制造方法。该耐气蚀部件(1)的基材表面上形成有无定形碳膜涂层并且至少具有：位于该基材(2)的表面上并包括多个柱状结构(4a)的第一无定形碳膜涂层(4)；和无取向地沉积在该第一无定形碳膜涂层(4)的表面上并包括多个粒状结构(5a)的第二无定形碳膜涂层(5)。 | ||
| 搜索关键词： | 气蚀 部件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种耐气蚀部件，其中，所述部件与流体接触，并且无定形碳膜涂层形成在基材的表面上，所述耐气蚀部件包括：位于所述基材的表面上并包括多个柱状结构的第一无定形碳膜涂层；和无取向地沉积在所述第一无定形碳膜涂层的表面上并包括多个粒状结构的第二无定形碳膜涂层。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
