[实用新型]晶片中心定位装置

摘要

一种晶片中心定位装置，定位手有三至四个均匀分布在托盘上的指片，每一指片上均有吸附孔和螺钉孔，在螺钉孔内穿入螺钉，螺钉与指片下面的连动块上端连接；气动臂的下端连接于底座中心，气动臂的上端与连动块的下端连接，每个连动块的上端向上穿过托盘的滑孔与对应的指片固定连接；支架固定连接在托盘与底座之间，支架与气动臂之间连接拉簧，拉簧内端连接于拉簧座，拉簧外端与调节螺杆连接，调节螺杆的外端伸至支架的外侧。具有结构紧凑，安装简单、精度高、寿命长的特点。定位手采用了阶梯形设计，可对多种规格晶片进行中心定位，整个装置由压缩空气驱动不会对周围环境造成污染。

主权项

1. 一种晶片中心定位装置，包括定位手、气动臂、驱动机构和底座，其特征在于：定位手(1)有三至四个均匀分布在托盘(8)上的指片(1.1)，每一指片上均有至少一个吸附孔(1.3)和一个螺钉孔(1.5)，在螺钉孔(1.5)内穿入螺钉(1.4)，螺钉(1.4)与指片下面的连动块(4)上端连接；气动臂(6)的下端连接于底座(10)中心，并与气动驱动机构连接，气动臂(6)的上端与三至四个连动块(4)的下端连接，每个连动块(4)的上端向上穿过托盘的滑孔(8.1)与对应的指片1.1固定连接；支架(9)固定连接在托盘(8)与底座(10)之间，支架(9)与气动臂(6)之间连接拉簧(3)，拉簧(3)内端连接于拉簧座(5)，拉簧座(5)与气动臂(6)侧面固定连接，拉簧(3)外端与调节螺杆(2)连接，调节螺杆(2)的外端伸至支架(9)的外侧。