[实用新型]晶片中心定位装置

权利要求书

1. 一种晶片中心定位装置，包括定位手、气动臂、驱动机构和底座，其特征在于：

定位手(1)有三至四个均匀分布在托盘(8)上的指片(1.1)，每一指片上均有至少一个吸附孔(1.3)和一个螺钉孔(1.5)，在螺钉孔(1.5)内穿入螺钉(1.4)，螺钉(1.4)与指片下面的连动块(4)上端连接；

气动臂(6)的下端连接于底座(10)中心，并与气动驱动机构连接，气动臂(6)的上端与三至四个连动块(4)的下端连接，每个连动块(4)的上端向上穿过托盘的滑孔(8.1)与对应的指片1.1固定连接；

支架(9)固定连接在托盘(8)与底座(10)之间，支架(9)与气动臂(6)之间连接拉簧(3)，拉簧(3)内端连接于拉簧座(5)，拉簧座(5)与气动臂(6)侧面固定连接，拉簧(3)外端与调节螺杆(2)连接，调节螺杆(2)的外端伸至支架(9)的外侧。

2. 根据权利要求1所述的晶片中心定位装置，其特征在于：上述指片(1.1)与托盘(8)之间通过导轨(7)连接。

3. 根据权利要求1或2所述的晶片中心定位装置，其特征在于：上述指片(1.1)的上表面自外向内有一道至四道同心的弧形阶梯(1.2)。

4. 根据权利要求3所述的晶片中心定位装置，其特征在于：上述指片(1.1)的形状为扇形或矩形。

5. 根据权利要求3所述的晶片中心定位装置，其特征在于：上述指片(1.1)的上表面的外边有凸缘(1.6)。

6. 根据权利要求3所述的晶片中心定位装置，其特征在于：上述指片(1.1)上的螺钉孔是径向的长槽孔或椭圆孔。