[实用新型]一种无需移动部件的多晶硅分凝铸锭炉无效
| 申请号： | 200720199128.0 | 申请日： | 2007-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN201138138Y | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 史珺;蒋君祥 | 申请（专利权）人： | 上海普罗新能源有限公司 |
| 主分类号： | F27B14/08 | 分类号： | F27B14/08;C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司： | 北京必浩得专利代理事务所 | 代理人： | 李梦福 |
| 地址： | 200083上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种无需移动部件的多晶硅分凝铸锭炉，包含真空炉体，设置在炉体中的坩埚，设置在坩埚外侧部的石墨支撑层，设置在坩埚底部的均热层，设置在坩埚及石墨支撑层外围的加热组件，设置在底部加热元件下面的均热层，设置在加热组件四周和顶部的保温层，设置在均热层下面的冷却系统。本实用新型提供的一种无需移动部件的多晶硅分凝铸锭炉，炉体内在整个加热和结晶过程中没有移动部件，而且也无需通过分层加热元件，就可以实现固液界面的水平缓慢上移，使坩埚内的液体硅实现结晶和晶向拉伸，达到铸锭和提纯的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无需 移动 部件 多晶 硅分凝 铸锭 | ||
【主权项】：
1.一种无需移动部件的多晶硅分凝铸锭炉，其特征在于，包含：真空炉体；设置在炉体中的坩埚(1)；设置在坩埚(1)外侧部的石墨支撑层(2)；设置在坩埚(1)底部的均热层(6)；设置在坩埚(1)及石墨支撑层(2)外围的加热组件；设置在底部加热元件下面的均热层(7)；设置在加热组件四周和顶部的保温层(10)，炉体正常工作时该保温层(10)与均热层(7)相连；设置在均热层(7)下面的冷却系统(8)。
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