[实用新型]一种无需移动部件的多晶硅分凝铸锭炉无效
| 申请号： | 200720199128.0 | 申请日： | 2007-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN201138138Y | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 史珺;蒋君祥 | 申请（专利权）人： | 上海普罗新能源有限公司 |
| 主分类号： | F27B14/08 | 分类号： | F27B14/08;C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司： | 北京必浩得专利代理事务所 | 代理人： | 李梦福 |
| 地址： | 200083上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 无需 移动 部件 多晶 硅分凝 铸锭 | ||
1.一种无需移动部件的多晶硅分凝铸锭炉，其特征在于，包含：
真空炉体；
设置在炉体中的坩埚(1)；
设置在坩埚(1)外侧部的石墨支撑层(2)；
设置在坩埚(1)底部的均热层(6)；
设置在坩埚(1)及石墨支撑层(2)外围的加热组件；
设置在底部加热元件下面的均热层(7)；
设置在加热组件四周和顶部的保温层(10)，炉体正常工作时该保温层(10)与均热层(7)相连；
设置在均热层(7)下面的冷却系统(8)。
2.如权利要求1所述的无需移动部件的多晶硅分凝铸锭炉，其特征在于，所述的加热组件包含：
位于坩埚(1)顶部的顶部加热元件(3)；
位于均热层(6)底部的底部加热元件(4)；
位于石墨支撑层(2)四周的周边加热元件(5)。
3.如权利要求2所述的无需移动部件的多晶硅分凝铸锭炉，其特征在于，所述三组加热元件(3、4、5)之间留有缝隙。
4.如权利要求1所述的无需移动部件的多晶硅分凝铸锭炉，其特征在于，所述的坩埚四周还设置有测温元件。
5.如权利要求1所述的无需移动部件的多晶硅分凝铸锭炉，其特征在于，所述的无需移动部件的多晶硅分凝铸锭炉还具有监控系统。
6.如权利要求1所述的无需移动部件的多晶硅分凝铸锭炉，其特征在于，所述的真空炉体中在工作时充满流动保护气体。
7.如权利要求1所述的无需移动部件的多晶硅分凝铸锭炉，其特征在于，所述的坩埚(1)为无上盖的立方体或圆柱体形状，即水平截面为方形或圆形。
8.如权利要求2所述的无需移动部件的多晶硅分凝铸锭炉，其特征在于，所述的周边加热元件(5)根据坩埚(1)的形状对应围成一个立方体的四个方形加热面或围成一个圆柱体的柱面。
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