[实用新型]一种磁控溅射真空镀膜机的自动升压装置无效
| 申请号： | 200720176792.3 | 申请日： | 2007-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN201132850Y | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 吴道元 | 申请（专利权）人： | 江苏元升太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张瑾 |
| 地址： | 226500*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种磁控溅射真空镀膜机的自动升压装置，包括恒流板，与恒流板相连接的电位器，所述恒流板与电位器之间的线路上再连接一个继电器和电位器并在该继电器的线圈上接控制开关；本装置在原来控制电路的基础上，增加一个继电器和电位器，通过对新增继电器内线圈施加电压，让控制线路转换到新增的电位器上，得到一个比原电位器大得多的电流，从而使得电压很快升上去，缩短了镀膜机启靶升压时间，提高了工作效率，且整个控制电路自动升压，不易产生误差，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 真空镀膜 自动 升压 装置 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射真空镀膜机的自动升压装置，包括恒流板(1)，与恒流板(1)相连接的电位器(2)，其特征在于：在所述恒流板(1)与电位器(2)之间的线路上再连接一个继电器(3)和电位器(4)并在该继电器(3)的线圈(5)上接控制开关(6)。
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