[实用新型]一种磁控溅射真空镀膜机的自动升压装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种自动升压装置，尤其是一种用于磁控溅射真空镀膜机的自动升压装置。

背景技术

太阳能热水器的主要吸热元件是全玻璃真空镀膜管，镀膜环节是真空管生产的主要工序，磁控溅射真空镀膜机就是将玻璃毛坯管外表面镀覆吸热膜的专用设备，在镀膜过程中，工艺要求镀膜电源电压为400V，而正常工作电流为25～30A，若要达到工艺要求所需的电压需有一定时间的等待，一般生产厂家采用人工控制电路升压，通过调整电位器，将电位器往上调，让工作电流在短时间内达到一个比较大的值，一般为45～50A，当工作电压升至350V以上时，又需要把电位器赶紧往下调，调至原来的位置，每次升电压时需频繁调动，操作繁锁且电位器内部容易产生接触不好，电压忽高忽低的现象，稳定性差导致镀膜出的真空管易产生色差，颜色不均。

实用新型内容

本实用新型提供了一种能快速升压，缩短镀膜机启靶升压时间，操作方便的磁控溅射真空镀膜机的自动升压装置。

为解决以上技术问题，本实用新型的一种磁控溅射真空镀膜机的自动升压装置，包括恒流板，与恒流板相连接的电位器，在所述恒流板与电位器之间的线路上再连接一个继电器和电位器并在该继电器的线圈上接控制开关。

所述新增电位器的电流调至50A。

采用本实用新型的自动升压装置，因在原来控制电路的基础上，增加一个继电器和电位器，增加的电位器调出的电流比原有电位器调出的电流约大25A，当启靶升压时，通过对继电器内线圈施加电压，让控制线路转换到新增的电位器上，得到一个比原电位器大得多的电流，从而使得电压很快升上去，缩短了镀膜机启靶升压时间，提高了工作效率，且整个控制电路自动升压，不易产生误差，操作方便。

附图说明

图为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

如图所示，在所述恒流板(1)与电位器(2)之间的线路上连接继电器(3)和电流为50A的电位器(4)，并在断开的线路上连接触指，所述触指分别可与电位器(2)和电位器(4)的触指相连接；另外，在继电器(3)的线圈(5)上连接一个220V的线路，该线路连接控制开关(6)。

镀膜机启靶时，在电压上升过程中，打开线圈上连接的控制开关(6)，线圈通电，形成磁场，将恒流板(1)与电位器(2)之间的线路触指吸到电位器(4)的触指上，由于该电位器(4)的电流为50A，大于电位器(2)调出的25A的电流，所以通电后，电位器(4)使电压快速上升，升压至400V，然后关闭控制开关(6)，线路触指(7)马上与电位器(4)分开，线路触指与电位器(2)触指相连接，因电位器(2)的电压为25A，是该机械正常工作电流，因此，当线路触指与电位器(2)触指连接时，机械进入正常工作状态。