[实用新型]一种磁控溅射真空镀膜机的自动升压装置无效
| 申请号： | 200720176792.3 | 申请日： | 2007-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN201132850Y | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 吴道元 | 申请（专利权）人： | 江苏元升太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张瑾 |
| 地址： | 226500*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 真空镀膜 自动 升压 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控溅射真空镀膜机的自动升压装置，包括恒流板(1)，与恒流板(1)相连接的电位器(2)，其特征在于：在所述恒流板(1)与电位器(2)之间的线路上再连接一个继电器(3)和电位器(4)并在该继电器(3)的线圈(5)上接控制开关(6)。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机的自动升压装置，其特征在于：所述电位器(4)电流调至50A。
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