[实用新型]一种芯片测试装置无效
| 申请号： | 200720171202.8 | 申请日： | 2007-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN201145728Y | 公开（公告）日： | 2008-11-05 |
| 发明（设计）人： | 徐文辉;黄镇生 | 申请（专利权）人： | 比亚迪股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518119广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于产品测试技术领域，尤其涉及一种芯片测试装置。它包括一工作台、芯片装载台、探针、探针装载板及推动该探针装载板沿垂直芯片装载台表面方向运动的Z轴升降装置，所述探针安装在探针装载板上，所述探针装载板及Z轴升降装置均安装在该工作台上，该工作台上还设有一导轨及安装在该导轨上的滑块，在该滑块上设有前述芯片装载台及可分别推动该芯片装载台沿导轨方向、垂直导轨方向移动的X轴调节装置和Y轴调节装置。这就大大方便了对探针与焊盘/植球之间的精确定位，能够有效提高误测率，改善产品的不良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 测试 装置 | ||
【主权项】：
1、一种芯片测试装置，它包括芯片装载台、探针、探针装载板及推动该探针装载板沿垂直芯片装载台表面方向运动的Z轴升降装置，所述探针安装在探针装载板上，其特征在于：该芯片测试装置还包括一工作台，所述探针装载板及Z轴升降装置均安装在该工作台上，该工作台上还设有一导轨及安装在该导轨上的滑块，在该滑块上设有前述芯片装载台及可分别推动该芯片装载台沿导轨方向、垂直导轨方向移动的X轴调节装置和Y轴调节装置。
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