[实用新型]简易掩模版翻版夹具

摘要

本实用新型提供一种简易掩模版翻版夹具，包括：一底座和压盖，所述压盖的中心开设有曝光通孔，压盖的底面位于曝光通孔的外围四周设有一压盖沟槽，该沟槽用容纳一上弹性压条，该弹性压条部分地由沟槽内向外突起；所述底座的上表面设有与所述压盖大小相适配的第一下沉腔体，该腔体边缘对称地设有至少一对定位槽与压盖边缘的向外伸出的定位凸块相适配，第一下沉腔体底部中心设有第二下沉腔体用于容纳待复制工作基板及其上表面的掩模版母版，所述第二下沉腔体的底部四周设有一底座沟槽，该沟槽用于容纳一下弹性压条，该弹性压条部分地由沟槽内向外突起；所述底座和压盖通过至少一对对称的螺钉固定。其结构简单，成本低，光刻图形套准精度更高。

主权项

1.一种简易掩模版翻版夹具，其特征是，包括：一底座(20)和一压盖(10)，所述压盖(10)的中心开设有曝光通孔(13)，压盖(10)的底面位于曝光通孔的外围四周设有一压盖沟槽(14)，该沟槽用容纳一上弹性压条(30)，该弹性压条部分地由沟槽(14)内向外突起；所述底座(20)的上表面设有与所述压盖(10)大小相适配的第一下沉腔体(21)，该腔体边缘对称地设有至少一对定位槽(22)与压盖(10)边缘的向外伸出的定位凸块(12)相适配，第一下沉腔体(21)底部中心设有第二下沉腔体(23)用于容纳待复制工作基板及其上表面的掩模版母版，所述第二下沉腔体(23)的底部四周设有一底座沟槽(24)，该沟槽用于容纳一下弹性压条(40)，该弹性压条部分地由沟槽内向外突起；所述底座(20)和压盖(10)通过至少一对对称的螺钉(50)固定。