[实用新型]一种阵列基板光学检测模块无效
| 申请号: | 200720103502.2 | 申请日: | 2007-02-07 |
| 公开(公告)号: | CN201004129Y | 公开(公告)日: | 2008-01-09 |
| 发明(设计)人: | 徐斌 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G01M11/00 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘芳 |
| 地址: | 100176北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种阵列基板光学检测模块,包括:一检测模块本体,检测模块本体的一边或多边设置有硬质管,硬质管中通有压缩气体,硬质管斜下方设置有压缩气体喷出口。其中硬质管的材料为金属、高分子材料或陶瓷;压缩气体喷出口为一狭长的开口槽。本实用新型通过利用洁净压缩气体,在对某一区域进行检测之前,将该区域表面的飘浮型灰尘颗粒吹走,以减少检测出的不良。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 阵列 光学 检测 模块 | ||
【主权项】:
1、一种阵列基板光学检测模块,包括:一检测模块本体,其特征在于:所述检测模块本体的一边或多边设置有硬质管,硬质管中通有压缩气体,硬质管斜下方设置有压缩气体喷出口。
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