[实用新型]一种阵列基板光学检测模块无效
| 申请号： | 200720103502.2 | 申请日： | 2007-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN201004129Y | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 徐斌 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G01M11/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 100176北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 光学 检测 模块 | ||
【权利要求书】：
1、一种阵列基板光学检测模块，包括：一检测模块本体，其特征在于：所述检测模块本体的一边或多边设置有硬质管，硬质管中通有压缩气体，硬质管斜下方设置有压缩气体喷出口。
2、根据权利要求1所述的阵列基板光学检测模块，其特征在于：所述硬质管的材料为金属、高分子材料或陶瓷。
3、根据权利要求1所述的阵列基板光学检测模块，其特征在于：所述硬质管在检测模块本体侧面的投影比检测模块侧面长度长0-10cm；所述硬质管长度方向与检测模块本体侧壁成0-60度角夹度。
4、根据权利要求1至3任一所述的阵列基板光学检测模块，其特征在于：所述压缩气体喷出口为一狭长的开口槽。
5、根据权利要求4所述的阵列基板光学检测模块，其特征在于：所述开口槽的开口宽度为0.1-0.5cm，长度比该硬质管总长短0-10cm。
6、根据权利要求5所述的阵列基板光学检测模块，其特征在于：所述开口槽中压缩气体喷出的方向与阵列基板表面成0-90度夹角。
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