[实用新型]用于氮化铝材料制备工艺的辐射式加热器

摘要

一种用于氮化铝材料制备工艺的辐射式加热器，包括一筒状炉体，所述筒状炉体由6个钨丝网环绕构成，所述6个钨丝网采用三相双星型接法，即每相邻两个钨丝网通过其上端的内侧弧形钨片和外侧弧形钨片并联；所述由内侧弧形钨片和外侧弧形钨片组成的每一对弧形钨片分别与一个钨电极焊接形成一引出电极，上述6个钨丝网下端经焊接固定在内外两个钨环构成的凹槽中。本实用新型使辐射热较好地传递到工艺托盘的氮化铝基板上，加热范围内的温度均匀性好、表面功率大、整体刚性好，且使用寿命长、可靠性高。

主权项

1.一种用于氮化铝材料制备工艺的辐射式加热器，包括一筒形加热器本体，其特征在于，所述筒形加热器本体的筒壁由六个弧形钨丝网相距排列组成，所述六个钨丝网的下端置于由内钨环和外钨环构成的环槽中并与之焊接固定；所述弧形钨丝网的上端以每两个相邻的钨丝网为一组而组成三组，每组各用分别位于钨丝网内侧和外侧的相应内侧弧形钨片和外侧弧形钨片固定连接，且每组钨丝网上端的内侧弧形钨片和外侧弧形钨片均与一个钨电极焊接形成一引出电极，由此共形成三个引出电极。