[实用新型]取送、对中功能一体化机器人装置无效
| 申请号： | 200720011938.9 | 申请日： | 2007-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN201120610Y | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 苗涛 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B25J3/00 | 分类号： | B25J3/00;B25J15/06;B25J19/00;B65G49/05 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及轨道式匀胶/显影机中晶片的移送机构，具体为一种取送、对中功能一体化机器人装置，解决机器人功能较为单一、操作工序较多等问题。机器人上设置对中机构；所述对中机构包括移动对中部分和气缸，通过气缸驱动的移动对中部分对称设置于气缸的两侧，两个移动对中部分的相对侧面为与晶片形状匹配的半圆形结构；所述两个移动对中部分相对的侧面安装有柱体；所述气缸两侧安装有减振挡块。本实用新型对原工作过程进行了更改，在机器人上增加了对中机构，将对中功能在机器人上实现，原对中单元的承片台可取消，减少了环节和机械部件，节约了时间。 | ||
| 搜索关键词： | 功能 一体化 机器人 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种取送、对中功能一体化机器人装置，其特征在于：机器人上设置对中机构；所述对中机构包括移动对中部分和气缸，通过气缸驱动的移动对中部分对称设置于气缸的两侧，两个移动对中部分的相对侧面为与晶片形状匹配的半圆形结构；所述两个移动对中部分相对的侧面安装有柱体；所述气缸两侧安装有减振挡块。
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