[发明专利]一种双轴差动电容式微机械加速度计无效
| 申请号： | 200710304799.3 | 申请日： | 2007-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN101216498A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 高宏;丁炜;毕国楦;胡向阳;才海南;董景新;张嵘 | 申请（专利权）人： | 紫光通讯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 100084北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种双轴差动电容式微机械加速度计，属于微机电系统中的惯性传感器领域；该速度计包括一个由硅片，设置在该硅片上的四个方形可动电极和将各可动电极隔离开的绝缘层构成的敏感质量元件，与该硅片水平相对的基片，设置在该基片上的与四个方形可动电极相对应的四个方形固定电极，设置在该硅片两端固定该硅片的两个横向折叠梁；固定该横向折叠梁的两个纵向折叠梁；将该两个纵向折叠梁固定有该基片上的立柱；使四个可动电极平面相对基片悬空平行。本发明具有结构简单、灵敏度高的特点，可实现高精度的二维加速度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 差动 电容 式微 机械 加速度计 | ||
【主权项】：
1.一种双轴差动电容式微机械加速度计，其特征在于：包括一个由硅片，设置在该硅片上的四个方形可动电极和将各可动电极隔离开的绝缘层构成的敏感质量元件，与该硅片水平相对的基片，设置在该基片上的与四个方形可动电极相对应的四个方形固定电极，设置在该硅片两端固定该硅片的两个横向折叠梁，与硅片构成横向运动检测机构；固定该横向折叠梁的两个纵向折叠梁，使硅片和横向折叠梁作为整体形成纵向敏感质量，构成了纵向运动检测机构；将该两个纵向折叠梁固定有该基片上的立柱；使四个可动电极平面相对基片悬空平行。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于紫光通讯科技有限公司，未经紫光通讯科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710304799.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种运动搜索区域的数据加载装置和方法
- 下一篇：含果肉型饮料的定量灌装阀
