[发明专利]一种双轴差动电容式微机械加速度计

权利要求书

1.一种双轴差动电容式微机械加速度计，其特征在于：包括一个由硅片，设置在该硅片上的四个方形可动电极和将各可动电极隔离开的绝缘层构成的敏感质量元件，与该硅片水平相对的基片，设置在该基片上的与四个方形可动电极相对应的四个方形固定电极，设置在该硅片两端固定该硅片的两个横向折叠梁，与硅片构成横向运动检测机构；固定该横向折叠梁的两个纵向折叠梁，使硅片和横向折叠梁作为整体形成纵向敏感质量，构成了纵向运动检测机构；将该两个纵向折叠梁固定有该基片上的立柱；使四个可动电极平面相对基片悬空平行。

2.如权利要求1所述的双轴差动电容式微机械加速度计，其特征在于，该四个方形可动电极以方形阵列置于硅片上，电极阵列中心与硅片中心重合；四个方形固定电极组成方形阵列与该可动电极方形阵列同中心，静止状态时，各方形固定电极的内侧角位于对应的方形可动电极的中心位置，在两个相互正交的方向上各形成两组差动电容。

3.如权利要求1所述的双轴差动电容式微机械加速度计，其特征在于，所述可动电极由集成电路加工工艺形成在所述硅片表面上。

4.如权利要求1所述的双轴差动电容式微机械加速度计，其特征在于，所述横向折叠梁和纵向折叠梁均设置有防冲击止档。

5.如权利要求1所述的双轴差动电容式微机械加速度计，其特征在于，在所述基片上设置有防电极吸合止档。