[发明专利]液状体配置方法、器件的制造方法、液状体喷出装置有效

专利信息
申请号: 200710188635.9 申请日: 2007-11-21
公开(公告)号: CN101185921A 公开(公告)日: 2008-05-28
发明(设计)人: 蛭间敬;小林博文;伊藤达也 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: B05B13/00 分类号: B05B13/00;B05B12/00;B05B12/12;B05C11/10;G02B5/20;G02F1/1335
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 汪惠民
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种液状体喷出装置,包括:喷头,其通过向驱动部件供给电信号而从喷嘴喷出液状体;喷出量测量部件,其供给与规定条件有关的所述电信号,喷出所述液状体,进行其喷出量的测量;第一温度测量部件,其在测量所述喷出量时,对所述喷头周围的第一温度进行测量;配置控制部件,其通过从所述喷嘴喷出所述液状体,向喷出对象物配置所述液状体;第二温度测量部件,其在配置所述液状体时,对所述喷头周围的第二温度进行测量;和电信号控制部件,其基于所述喷出量、所述第一温度、所述第二温度,对配置所述液状体时供给的所述电信号的条件进行控制。由此,提供一种能维持稳定的喷出量的液状体喷出装置及液状体配置方法、利用了该喷出方法的器件的制造方法。
搜索关键词: 液状 配置 方法 器件 制造 喷出 装置
【主权项】:
1.一种液状体配置方法,利用通过向驱动部件供给电信号而从喷嘴喷出液状体的喷头,对喷出对象物进行该液状体的配置,该液状体配置方法包括:A步骤,供给与规定条件有关的所述电信号,测量喷出量;B步骤,对测量所述喷出量时所述喷头的周围的第一温度进行测量;C步骤,在配置所述液状体时,测量所述喷头周围的第二温度;和D步骤,以基于所述喷出量、所述第一温度、所述第二温度而确定的条件生成所述电信号,供给生成的该电信号,进行所述液状体的配置。
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