[发明专利]液状体配置方法、器件的制造方法、液状体喷出装置

说明书

技术领域

本发明涉及液状体喷出装置及其液状体配置方法、利用了该方法的器件的制造方法。

背景技术

近年，提出了一种从微小喷嘴向基板喷出包含功能性材料的液状体，使基板上配置的液状体固化而形成薄膜的方法。作为该薄膜的代表例，可列举滤色器或发光层、金属布线等。

在这种方法中，为了形成优质薄膜，要求稳定地维持所喷出的液状体的量(以下称为喷出量)。这是由于因喷出历程所引起的硬件要素的劣化、或液状体的制造偏差等，喷出量会发生变动。因此，提出了一种包括喷出量的测量部件并基于其测量结果使喷出所涉及的驱动条件适当化的液状体喷出装置(例如，专利文献1)。

但是，为了使喷出量稳定化，喷出所涉及的液状体的温度也成为重要的影响因素。这是由于液状体的粘度因温度而变动，结果也会对喷出量产生影响。并且，在测量喷出量时和进行实际描绘时，因与装置内的热源的位置关系而会对液状体的温度稍微产生偏差，由此，因该影响而难以高精度进行驱动条件的适当化。

专利文献1：特开2004-209429号公报

发明内容

本发明为解决上述课题而实现，目的在于提供一种能维持稳定的喷出量的液状体喷出装置及液状体配置方法、利用了该喷出方法的器件的制造方法。

本发明的液状体配置方法，利用通过向驱动部件供给电信号而从喷嘴喷出液状体的喷头，对喷出对象物进行该液状体的配置，该液状体配置方法包括：A步骤，供给与规定条件有关的所述电信号，测量喷出量；B步骤，对测量所述喷出量时所述喷头的周围的第一温度进行测量；C步骤，在配置所述液状体时，测量所述喷头的周围的第二温度；和D步骤，以基于所述喷出量、所述第一温度、所述第二温度而确定的条件生成所述电信号，供给生成的该电信号，进行所述液状体的配置。

在该发明的液状体配置方法中，基于预先测量的喷出量，对液状体的配置所涉及的电信号的条件进行适当化。此时，由于参照测量喷出量时的第一温度和配置液状体时的第二温度，因此，可适宜地排除测量喷出量时和配置液状体时的喷头周围的温度差的影响，从而可适宜地使电信号的条件适当化。

还有，在所述液状体配置方法中，优选所述电信号的条件是电压成分。

再有，在所述液状体配置方法中，优选在所述喷头的所述喷嘴的形成面的周围或所述液状体的导入部的周围、或者在所述喷头的所述喷嘴的形成面的周围以及所述液状体的导入部的周围这两处，进行所述第一温度以及所述第二温度的测量。

而且，在所述液状体配置方法中，优选将所述C步骤以及所述D步骤对一个所述喷出对象物至少进行一次以上。

并且，在所述液状体配置方法中，在利用多个所述喷头的技术方案1～4的任一方案所述的液状体配置方法中，优选对所述多个喷头的一部分或每一个进行所述第一温度以及所述第二温度的测量。

本发明的液状体配置方法，利用通过向驱动部件供给电信号而从喷嘴喷出液状体的喷头，对喷出对象物进行该液状体的配置，该液状体配置方法包括：G步骤，供给与规定条件有关的所述电信号，在进行所述液状体的配置的第一区域测量第一预备喷出量，在与所述第一区域分离的第二区域测量第二预备喷出量；H步骤，在配置所述液状体时，在第二区域，供给与规定条件有关的所述电信号来测量喷出量，和I步骤，以基于所述第一预备喷出量、所述第二预备喷出量、由所述H步骤测量的喷出量而确定的条件生成所述电信号，供给生成的该电信号，进行所述液状体的配置。

本发明的器件的制造方法包括利用所述液状体配置方法向基板配置所述液状体并使所配置的该液状体固化而形成膜的步骤，而且，将该膜作为构成要素。

本发明的液状体喷出装置，包括：喷头，其通过向驱动部件供给电信号而从喷嘴喷出液状体；喷出量测量部件，其供给与规定条件有关的所述电信号，喷出所述液状体，进行其喷出量的测量；第一温度测量部件，其在测量所述喷出量时，对所述喷头的周围的第一温度进行测量；配置控制部件，其通过从所述喷嘴喷出所述液状体，向喷出对象物配置所述液状体；第二温度测量部件，其在配置所述液状体时，对所述喷头的周围的第二温度进行测量；和电信号控制部件，其基于所述喷出量、所述第一温度、所述第二温度，对配置所述液状体时供给的所述电信号的条件进行控制。

附图说明

图1是表示液状体喷出装置的主要部分构成的立体图；

图2是表示喷头单元中的喷头的配置构成的俯视图；

图3是表示液状体喷出装置的电气构成的框图；

图4是表示驱动信号的一例的图；